ffu 具有的特点： ，灵活性。因为 ffu 是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应的调整， ffu 的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。 第二，可再利用性。从理论上讲，一时不用的 ffu 设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。 第三，负压通风。这是 ffu 的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区内，使得密封变得很简单而且安全。 第四，缩短建设周期。使用 ffu 省掉了风箱的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用 ffu 成为了一种可能。 第五，减少运行成本。虽然在选用 ffu 时，初期投资要比使用风管通风高，但在它后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。用大循环减少 40% 的运行成本。 ffu 组合的关键性能参数： 模数尺寸：安装吊顶龙骨中心线的间距， ffu 常用的标准模数尺寸为 1200*600 （ 4' * 2' ）、 1200*900 （ 4' * 3' ）、 1200*1200 （ 4' * 4' ）。 实际尺寸： ffu 过滤器的实际尺寸 = 模块尺寸 - （龙骨断面宽度 -25mm ），风机模块的实际尺寸比过滤器稍大 4mm 。比如说常用的圆顶龙骨端面宽度为 55mm ，模数尺寸为 1200 ， 900 ， 600 所对应的 ffu 过滤器实际尺寸 1170 ， 870 ， 570 ，风机模块的实际尺寸为 1174 ， 874 ， 574 。 机外余压：在某一设定风速下，风机模块的总静压下（ tsp ）扣除 hepa/ulpa 过滤器的阻力，即为机外余压（ esp ），单位是 pa 。 esp 是指 ffu 整机能克服 洁净室 循环风阻力的能力，无论是标注 ffu 机外余压或风机模块的总静压 tsp ，都必需指名送风风速或风量，否则没有意义。 输入能耗： ffu 正常运转时输入电压或输入电流的乘积，单位是 w 。显然， ffu 在不同的运行工况点，即在不同的运行风量和总静压时，输入能耗不同。因此，如果不指名运行工况点，输入能耗值没有意义。 单位噪音：根据标准 ies-rp-cc002 ， ffu 正常运转时在距离出风面中心正下方 1.2m 处的噪音值，单位是 db(a) 。 ffu 在不同的运行工况点，即在不同的运行风量和总静压时，噪音不同。因此，如果不指明运行工况点，噪音值没有意义。 微振：根据标准 ies-rp-cc002 ， ffu 在大运转工况点时的振动幅度和振动速率，单位分别是 mm 和 mm 。 送风均匀度：根据标准 ies-rp-cc002 ， ffu 正常运转时，在距离出风面下方 150mm(6'' ) 的水平面上测量逐点的风速，得出平均风速值。平均风速与大风速和小风速的偏差比即为送风均匀度，单位为 +/-% 。标准 ies-rp-cc002 中要求 ffu 的任一点的送风风速与其平均风速的偏差均应在 +/-20% 以内。 过滤器效率等级：依据欧洲标准 en1822 ，过滤器等级从 h10-h14 ， u15-u17 ，或依据美国标准 mil-282(hepa) 对于 0.3um 的效率值；依据美国标准 ies-rp-cc007.1 ，对于 0.12um 的效率值。